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薄膜型三氧化二铝基气敏材料及传感器研究

2005年 应用技术
  • 成果简介
作为人工智能和计算机的发展的必然要求以及信息技术发展的迫切需要，传感器越来越受到人们的普遍关注。气体传感器是传感器中的一个重要类别，几乎在各个技术领域中，都涉及气体传感器的应用。对传感器微型化、集成化、效率化和智能化的要求，迫切希望开展薄膜型气敏传感器的研究。研制薄膜型气敏传感器也被认为是解决目前已商业化的陶瓷气敏传感器一致性及相关问题的最有效的方法。薄膜型三氧化二铝基气敏传感器的研究涉及...
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